Mikroelektronikai érzékelők

Szenzoroknak, más néven érzékelőknek nevezzük azokat az eszközöket, amelyeket a nemvillamos fizikai vagy kémiai mennyiségeket villamos mennyiségekké alakítják át, és ezáltal azokat elektronikus műszerekkel mérhetővé teszik. Szenzorelem pl. egy termisztor, amelynek ellenállása a hőmérséklettel arányosan változik, azonban nem tekintjük szenzornak a higanyos hőmérőt. Az érzékelők olyan speciális tulajdonságú, ill. szerkezetű anyagokból készülnek, amelyek képesek az észlelni kívánt fizikai-kémiai jelenségek közvetlen átalakítására. Ilyenek pl. a különböző szerkezetű és adalékoltságú félvezető rétegekből felépített hőmérséklet-, fény- vagy sugárérzékelők, a piezoelektromos kristályok, amelyek ellenállása nyomásfüggő, vagy a Hall-cellák, amelyek sarkai között feszültség keletkezik, ha mágneses térbe kerülnek.